Przejdź do zawartości

Azotek krzemu

Z Wikipedii, wolnej encyklopedii
azotek krzemu
Ogólne informacje
Charakterystyka fizyczna
szary bezwonny proszek
Wzór chemiczny

Si3N4

zapis Hilla

N4Si3

Masa molowa

140,28 g/mol

Identyfikacja
Numer CAS

12033-89-5

PubChem

3084099

Podobne związki
Podobne związki

ditlenek krzemu, węglik krzemu

Jeżeli nie podano inaczej, dane dotyczą
stanu standardowego (25 °C, 1000 hPa)

Azotek krzemu (Si3N4) – nieorganiczny związek chemiczny, azotek pierwiastka krzemu na IV stopniu utlenienia.

Właściwości

[edytuj | edytuj kod]

Azotek krzemu ma stosunkowo niską gęstość, bardzo dużą odporność termiczną i chemiczną oraz twardość.

Zastosowania

[edytuj | edytuj kod]

Elektronika

[edytuj | edytuj kod]

Azotek krzemu jest wykorzystywany jako izolator i bariera chemiczna – przewyższa on w tym zastosowaniu SiO2. Stanowi dobrą barierę dla czynników, przed którymi nie chroni SiO2, na przykład jonów Na+ i H+ (mających szkodliwy wpływ na stabilność przyrządów półprzewodnikowych). Niektóre aplikacje wykorzystują azotek krzemu jako warstwę pułapkowania ładunku do przechowywania elektronów[3].

Najczęściej wytwarza się warstwę Si3N4 metodami chemicznymi: przez rozpylanie katodowe lub osadzanie z fazy lotnej. Do wad należą: trudności związane z obróbką fotochemiczną tych warstw i gorsze właściwości elektrofizyczne obszaru granicznego Si niż SiO2.

Ceramika

[edytuj | edytuj kod]

Łożyska z ceramiki Si3N4 są stosowane w dyskach twardych.

Azotek krzemu jest składnikiem sialonu.

Przypisy

[edytuj | edytuj kod]
  1. Silicon nitride (nr 334103) – karta charakterystyki produktu Sigma-Aldrich (Merck) na obszar Polski.
  2. Azotek krzemu [PDF], karta charakterystyki produktu Sigma-Aldrich, Merck, numer katalogowy: 334103.
  3. Karthik Sridhara, Łukasz Borowik, Denis Mariolle, Nicolas Chevalier, Jean-Philippe Colonna, Environment and baking influence on charge retention on silicon nitride charge trap layers, „Journal of Applied Physics”, 111 (2), 2012, DOI: 10.1063/1.3678455 (ang.).

Bibliografia

[edytuj | edytuj kod]